S係列氣體層流質量流量計
最懂科學工作者的質量流量計

最小流量:0.1SCCM     最大流量:5000SLPM

S係列氣體層流質量流量計用於實時測量過程氣體的流量,特有的層流壓差技術及獨創核心算法,內置的高精度壓力、溫度傳感器實時補償,產品具有高精度、高重複性、低零點、溫度、壓力漂移量等特點,強大的觸摸顯示屏可顯示實時壓力、溫度、工況流量、標況流量、累計流量,多氣體觸摸式切換,無須轉化係數。

特征
  • 量程範圍
    0.5sccm~5000slpm
    0.5sccm~5000slpm
  • 高精度(可溯源)
    ±0.5%~±1.0%
    讀數精度
    ±0.5%~±1.0%讀數精度
  • 快速響應
    100ms
    無需預熱
    100ms無需預熱
  • 更改氣體介質、調整混合氣體比例
    觸屏式操作
    修改部分參數信息
    觸屏式操作修改部分參數信息
  • 高可靠性
    高抗過載、電磁幹擾
    能力
    高抗過載、電磁幹擾能力
  • 適用範圍
    寬溫度、壓力
    寬溫度、壓力
  • 寬量程比
    100:1
    100:1
應用領域
實驗室

高校、科研院所、企業實驗室:實驗、校準、測試實驗裝置和實驗平台的傳感器和標準表

流量校準

流量校準台的標準表、流量校準台的比對、量值傳遞、實驗室設備的流量校準等

傳統流量計的高級替代

轉子流量計、玻璃管浮子流量計的更高性能替代

計量

稀有氣體局部或整體係統流量使用量的監控、貿易結算等

技術參數
型      號

PIG-S101

PIG-S201

PIG-S102

PIG-S202

PIG-S120 

PIG-S220

PIG-S150 

PIG-S250

流量規格

0.5、1、2 、

5 、10、20SCCM

50、100、200 、

500、1000 、2000SCCM

5、10 、20 、

50 、100 、200 SLPM

500、1000、1500、

2000、3000、4000、5000SLPM

性能參數
準 確 度

S100:±1%RD (20%~100%量程範圍) 或 ±0.2%F.S.(≤20%量程範圍)(RD-讀數 F.S.-滿量程)
S200:±0.5%RD(20%~100%量程範圍)或 ±0.1%F.S.(≤20%量程範圍)(RD-讀數 F.S.-滿量程)

S100-WR:±1%RD (10%~100%量程範圍) 或 ±0.1%F.S.(≤10%量程範圍)(RD-讀數 F.S.-滿量程)

重複精度

±0.2%F.S.         

溫度漂移          Zero:≤±0.01%F.S./℃                                                                  Span:≤±0.01%F.S./℃(基準溫度20℃)
工作範圍 1%~100%F.S.(最大可達120%F.S.)
使用條件
使用溫度範圍 -20℃~60℃
使用濕度範圍 0%~98%(無冷凝)
耐      壓 1.5MPa
最大工作壓力 1MPa
供電電壓 +(18~30)VDC
消耗電流 < 150mA(<3W)
安裝方式 無指定(任意角度)
接氣部材質 SUS316L
顯示方式 彩色LCD觸摸屏
輸出方式 模擬:(4~20)mA;數字:RS485
尺寸圖
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