層流質量流量控製器 MASS FLOW CONTROLLER
什麽是層流質量流量控製器?

層流質量流量控製器【MASS FLOW CONTROLLER,簡稱MFC】基於內部補償型層流壓差專利技術,【專利號:ZL 2015 1 0610447.5】內置壓力和溫度傳感器,能充分補償因溫度和壓力引起的體積流量和質量流量間的差異,並根據作為電信號發送的設定流量通過精密電磁比例調節閥自動控製氣體流量,從而提供更加準確和穩定的流量測量和控製。當需要精確控製氣體流量或建立自動化生產線時,層流質量流量控製器可作為不可缺少的設備在高校科研院所和廣泛的工業過程自動化控製中使用。

結構和工作原理

層流質量流量控製器由層流元件、壓力傳感器、壓差傳感器、溫度傳感器、精密比例調節閥和電路部分組成。

  • 1
    氣體由入口處進入

    經過層流元件將不規則的湍流狀態規整為規則的層流運動狀態

  • 2
    通過內置的壓差傳感器

    測得層流元件的兩端壓力差,轉化為電信號,計算工況流量

  • 3
    通過溫度傳感器和壓力傳感器

    實時采集並修正補償因溫度和壓力造成的波動,計算為標況體積流量,即質量流量;

  • 4
    比例調節閥修改流量

    使測得的質量流量與從外部流量設置信號接收到的流量之間的差為零;

  • 5
    這些單元具有回路

    因此即使發生二次壓力或環境溫度變化,可能會影響所引入氣體的供應壓力,流量也會立即得到校正,從而確保了穩定的流量控製。

性能優勢
  • 設定值精度
    0.5~1.0級
    0.5~1.0級
  • 響應時間
    500ms以下
    無需預熱
    500ms以下無需預熱
  • 無需轉換係數
    多氣體、多量程
    43種氣體、混氣
    多氣體、多量程43種氣體、混氣
  • 精確的
    壓力和溫度補償
    壓力和溫度補償
  • 可選擇的
    觸摸式顯示屏、電池包
    觸摸式顯示屏、電池包
  • 符合GB/T標準
    抗電磁幹擾性強
    抗電磁幹擾性強
  • 堅固的
    金屬外殼
    金屬外殼
產品係列