SC100-WR寬量程型
更寬量程範圍內保證產品精度

最小流量:0.1SCCM     最大流量:500SLPM

SC100-WR寬量程氣體層流質量流量控製器在SC100標準型層流質量流量控製器的基礎上提高2倍的可精確測量範圍,實現在10%~100%的量程範圍內達到1%設定值精度,並通過產品內置的壓力、溫度傳感器的精確補償及獨創核心算法,在低零點、溫度、壓力漂移量上表現出了傑出性能。同時,內置多種氣體和混氣設置,觸屏式操作的自由切換,有效簡化了係統的複雜度,減少客戶采購成本,提高係統的穩定度。

特征
  • 原理
    層流壓差式
    流量控製器
    層流壓差式流量控製器
  • 保證精度的流量範圍
    10%~100%
    F.S.
    10%~100%F.S.
  • 高精度
    ±1.0%
    設定值精度
    ±1.0%設定值精度
  • 高重複性
    ±0.2%
    F.S.
    ±0.2%F.S.
  • 自由切換更改氣體介質、
    觸屏點擊輸入設定流量
    調整混合氣體比例和修改部分參數信息
    觸屏點擊輸入設定流量調整混合氣體比例和修改部分參數信息
  • 寬溫度、壓力適用範圍
    -20℃~60℃、1Mpa
    以內
    -20℃~60℃、1Mpa以內
  • 可切換
    流量計模式
    使用
    流量計模式使用
  • 實時顯示
    4種
    過程變量
    4種過程變量
  • 內置
    43種
    氣體和混氣測量
    43種氣體和混氣測量
使用條件
兼容內置
43種氣體和可編輯的混合氣體
Compatible
工作流量範圍
1%~120%F.S.
Working flow range
介質溫度
-20℃~60℃
Medium temperature
環境溫度
-20℃~60℃
Ambient temperature
使用濕度
0%~98%(無冷凝)
Operating humidity
最大工作壓力
1Mpa
Working pressure
耐壓
1.5Mpa
Withstand voltage
供電電壓
﹢(18~30)VDC
Supply voltage
消耗電流
<150mA (供電電壓為24v時)<300mA(<5V)
Current consumption
安裝方式
無指定(任意角度)
Installation method
規格型號
應用領域
係統搭建

標定台係統搭建中的流量控製設備

設備集成

需要大範圍調整流量的流控係統或設備集成

簡化集成

為簡化集成設備或對設備體積比較敏感的客戶

實驗研究

需要調控比較大流量範圍的實驗研究場合