SC200高精型
計量級精度的高精型流量控製器

最小流量:0.1SCCM     最大流量:500SLPM

SC200高精型氣體層流質量流量控製器向對控製精度有更高需求的客戶提供計量級的精度等級(±0.5%設定值精度),通過產品內置的壓力、溫度傳感器的精確補償及獨創核心算法,在低零點、溫度、壓力漂移量上表現出了更高性能。同時,內置4種標況溫度(0℃、15℃、20℃、25℃)可供選擇,並實時顯示溫度、壓力、標況流量、工況流量。

特征
  • 原理
    層流壓差式
    流量控製器
    層流壓差式流量控製器
  • 高精度
    ±0.5%
    設定值精度
    ±0.5%設定值精度
  • 高重複性
    ±0.1%
    F.S.
    ±0.1%F.S.
  • 自由切換更改氣體介質
    觸屏點擊輸入設定流量
    調整混合氣體比例和修改部分參數信息
    觸屏點擊輸入設定流量調整混合氣體比例和修改部分參數信息
  • 寬溫度、壓力適用範圍
    -20℃~60℃、1Mpa
    以內
    -20℃~60℃、1Mpa以內
  • 可切換
    流量計模式
    使用
    流量計模式使用
  • 響應時間
    500ms
    無需預熱
    500ms無需預熱
  • 實時顯示
    4種
    過程變量
    4種過程變量
  • 內置
    43種
    氣體和混氣測量
    43種氣體和混氣測量
使用條件
兼容內置
43種氣體和可編輯的混合氣體
Compatible
工作流量範圍
1%~120%F.S.
Working flow range
介質溫度
-20℃~60℃
Medium temperature
環境溫度
-20℃~60℃
Ambient temperature
使用濕度
0%~98%(無冷凝)
Operating humidity
最大工作壓力
1Mpa
Working pressure
耐壓
1.5Mpa
Withstand voltage
供電電壓
﹢(18~30)VDC
Supply voltage
消耗電流
<150mA (供電電壓為24v時) <300mA(<5V)
Current consumption
安裝方式
無指定(任意角度)
Installation method
規格型號
應用領域
控製設備

配套流量校準平台的流量控製設備

化學實驗

化學過程實驗中的氣體流量高精度控製

動力測試

機械動力測試係統中的氣體流量高精度控製

材料製備

材料製備實驗中的中的氣體流量高精度控製

真空實驗

真空實驗艙及真空試驗係統中的氣體流量高精度控製

生物反應實驗

生物反應器實驗裝置中的氣體流量高精度控製

高精度儀器

高精度實驗儀器的研發和試製